UpNano GmbH：研發(fā)新型框架,，補(bǔ)償雙光子聚合 (2PP)打印基板傾斜度,，提高精度,！

2022年8月27日,，南極熊獲悉,，UpNano GmbH開發(fā)了一種新型框架可以在打印時(shí)補(bǔ)償雙光子聚合 (2PP) 3D打印基板中的微小傾斜度,，提高打印精度,。可以說活,，新開發(fā)的傾斜框架有助于最大限度地提高打印結(jié)果的精度,，尤其是大型結(jié)構(gòu)。



UpNano GmbH（奧地利）在國(guó)際上推出了“傾斜框架”,。該框架可以配備用于2到6英寸工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)晶圓的卡盤支架,。利用此款框架，在長(zhǎng)達(dá) 4 英寸的晶圓整個(gè)表面上進(jìn)行 2PP 3D 打印已成為現(xiàn)實(shí),。傾斜框架適合UpNano的任何NanoOne系列設(shè)備,，它們是由激光驅(qū)動(dòng)的2PP 3D 打印系統(tǒng),，可以以極高的速度構(gòu)建跨越12個(gè)數(shù)量級(jí)的結(jié)構(gòu)。


△NanoOne打印機(jī)

NanoOne 系列可以打印納米分辨率以及厘米尺寸的結(jié)構(gòu),。它已被用于電子,、微光學(xué)以及細(xì)胞和醫(yī)學(xué)研究中的生物相容性應(yīng)用。在 2PP 3D 打印中,，尺寸參數(shù)是十分重要的,。打印結(jié)構(gòu)越大，設(shè)備中任何微小的不均勻性就越會(huì)影響最終產(chǎn)品的精度,。使用 NanoOne,，可以顯著減少微型零件的生產(chǎn)時(shí)間和單位成本，而不會(huì)犧牲分辨率和公差,。基于多光子光刻技術(shù)的多功能技術(shù)可用于制造結(jié)構(gòu)在 170 nm 范圍內(nèi)的超細(xì)組件和厘米范圍內(nèi)的宏觀微型零件,。NanoOne 的寫入速度高達(dá) 1,000 mm/s，吞吐量高達(dá) >450 mm3/h,，將高性能與用戶友好相結(jié)合,。


△可打印超細(xì)組件和宏觀微型零件


△UpNano研發(fā)了傾斜框架，能夠最大限度地提高精度,。 用于2PP 3D打印的帶傾斜補(bǔ)償?shù)幕�板支架�?br />
UpNano GmbH 通過推出其傾斜框架解決了上述問題,，可以糾正微米范圍內(nèi)的不均勻性。Tilt Frame 可以使用各種支架進(jìn)行擴(kuò)展,，最大可以用于 6 英寸晶圓的卡盤支架,。晶圓的整個(gè)表面（最大 4 英寸）現(xiàn)在都可以進(jìn)行 2PP 3D 打印。

UpNano 的營(yíng)銷和業(yè)務(wù)開發(fā)主管兼聯(lián)合創(chuàng)始人 Denise Hirner 解釋說：“此款框架適配于NanoOne打印機(jī),，可以最大限度地提高打印結(jié)果的精度,，尤其是大型結(jié)構(gòu)。”



傾斜框架可以單獨(dú)訂購(gòu),，并且可以輕松安裝到現(xiàn)有的 NanoOne 打印機(jī)上,，或作為任何新 NanoOne 的預(yù)安裝附件。該框架能夠校正 μm 范圍內(nèi)的基板傾斜度,。校正值通過 NanoOne 自動(dòng)對(duì)焦獲得，該自動(dòng)對(duì)焦在基板的三個(gè)點(diǎn)進(jìn)行高度測(cè)量,�,；�于這些測(cè)量，電腦自動(dòng)計(jì)算校正值,。實(shí)際使用中,，有兩個(gè)版本的傾斜框架可供選擇，其一是價(jià)格具有競(jìng)爭(zhēng)力的手動(dòng)版本,，該版本使用高精度校正螺釘,，其二是自動(dòng)版本,，使用軟件控制的精密電機(jī)進(jìn)行校正。該框架與 NanoOne 系列可用的所有光學(xué)器件兼容,，即 5x,、10x、20x 和 40x 物鏡,。

Denise Hirner 說道：“NanoOne 可以以高達(dá) 1,000 mm/s 的驚人寫入速度進(jìn)行打印,，并實(shí)現(xiàn)高達(dá) 200 mm3/h 的吞吐量。再加上新獲得的打印高達(dá) 4 英寸的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)晶圓的整個(gè)表面的能力,，首次實(shí)現(xiàn)了 2PP 3D 精度的批量生產(chǎn),。“

UpNano 還在 Tilt Frame 產(chǎn)品組合中增加了一個(gè)光纖支架和一個(gè)插芯支架。通過將這些支架與來自 UpNano 產(chǎn)品組合的具有光學(xué)特性的打印材料一起使用,，該材料已針對(duì)該工藝進(jìn)行了優(yōu)化,，集成光學(xué)系統(tǒng)可以高精度地定位和制造在光纖的尖端上。