助力核心芯片發(fā)展,！集成微系統(tǒng)封裝平臺(tái)今日蘇州揭牌

5月11日,，由江蘇省納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心與中科院蘇州納米所納米加工平臺(tái)共建的集成微系統(tǒng)封裝平臺(tái)（MSPC,， Micro System and Packaging Centre）揭牌儀式在蘇州國(guó)際博覽中心舉行，第四屆MEMS創(chuàng)新技術(shù)應(yīng)用對(duì)接會(huì)暨中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)MEMS分會(huì)市場(chǎng)年會(huì)與揭牌儀式同期召開,。

中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)常務(wù)副秘書長(zhǎng)宮承和首先致開幕辭,。

中科院蘇州納米所所長(zhǎng)楊輝為揭牌儀式致辭。

蘇州工業(yè)園區(qū)管委會(huì)副主任丁立新致辭,。

他表示,，集成微系統(tǒng)封裝平臺(tái)的建設(shè)打通了產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，將填補(bǔ)產(chǎn)業(yè)鏈空白,，滿足企業(yè),、科研院所甚至是軍工等多方面的需求；同時(shí),，也將提升核心芯片自主研發(fā)能力,，提高核心芯片自給率，推動(dòng)園區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,，縮小與國(guó)際領(lǐng)先水平的差距,。希望借此契機(jī)，大家共同推進(jìn)平臺(tái)建設(shè)水平,，提升服務(wù)能力,，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)對(duì)接合作，為轉(zhuǎn)型升級(jí)創(chuàng)新發(fā)展注入新的動(dòng)力,。

隨后,，中科院科技促進(jìn)發(fā)展局副局長(zhǎng)趙千鈞、蘇州工業(yè)園區(qū)管委會(huì)副主任丁立新,、中科院蘇州納米所所長(zhǎng)楊輝,、中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)常務(wù)副秘書長(zhǎng)宮承和、東南大學(xué)MEMS教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任黃慶安和江蘇省納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心副理事長(zhǎng)李健民共同為集成微系統(tǒng)封裝平臺(tái)揭牌,。

中科院蘇州納米所納米加工平臺(tái)主任張寶順對(duì)新揭牌的封裝平臺(tái)作了技術(shù)介紹,。

據(jù)悉,，集成微系統(tǒng)封裝平臺(tái)是納米加工平臺(tái)面向重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)需求的工程化項(xiàng)目，由江蘇省納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心牽頭組織,，中科院蘇州納米所具體承擔(dān),，在中科院、省產(chǎn)研院和蘇州工業(yè)園區(qū)等多方支持下完成建設(shè),。目前已建成超凈室面積1300平方米,，包括百級(jí)、千級(jí)近10個(gè)超凈實(shí)驗(yàn)室,，已采購(gòu)各類8寸晶圓微納加工,、封裝和測(cè)量設(shè)備50多臺(tái)/套，總投資近億元,。平臺(tái)建成后將具備硅基微納加工技術(shù)和系統(tǒng)封裝技術(shù),，面向新型智能傳感器和半導(dǎo)體器件開展研發(fā)和工程化技術(shù)研究，并重點(diǎn)部署了壓電MEMS器件,、高精度慣性MEMS器件,、光學(xué)及紅外MEMS器件、硅基III-V族器件以及先進(jìn)集成封裝等相關(guān)工藝,。

近年來,，蘇州工業(yè)園區(qū)堅(jiān)持把科技創(chuàng)新作為區(qū)域發(fā)展的核心戰(zhàn)略，積極構(gòu)建自主創(chuàng)新體系,，大力營(yíng)造開放包容的創(chuàng)新生態(tài),，正在形成以創(chuàng)新為主要引領(lǐng)和支撐的經(jīng)濟(jì)體系和發(fā)展模式。自2010年起,，園區(qū)依托蘇州納米所,，大力發(fā)展以MEMS和半導(dǎo)體為代表的納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)，規(guī)劃了研發(fā)創(chuàng)新,、創(chuàng)業(yè)孵化和規(guī)模產(chǎn)業(yè)化的一條龍產(chǎn)業(yè)布局,，建有納米技術(shù)國(guó)家大學(xué)科技園、蘇州納米城等產(chǎn)業(yè)載體,，以及納米加工平臺(tái),、納米支撐平臺(tái)、MEMS中試平臺(tái)等公共服務(wù)平臺(tái),，通過多方位創(chuàng)新要素的集聚，支持納米技術(shù)全產(chǎn)業(yè)鏈的快速發(fā)展,。

作為國(guó)內(nèi)集聚度最高的MEMS產(chǎn)業(yè)化基地,，園區(qū)2017年MEMS產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值已超100億元，同比增幅20%以上,，并涌現(xiàn)出明皜,、敏芯,、邁瑞微電子等一批銷售億元級(jí)的企業(yè)。MEMS產(chǎn)業(yè)已成為園區(qū)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)領(lǐng)域和特色領(lǐng)域,，基于MEMS技術(shù)的視覺,、聽覺、壓力等各類傳感器及微處理器也是人工智能,、物聯(lián)網(wǎng),、智能制造等新興產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵核心器件，對(duì)促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義,。園區(qū)在國(guó)內(nèi)率先布局集成微系統(tǒng)封裝平臺(tái),，也將進(jìn)一步吸引和集聚MEMS、光電子,、微電子等半導(dǎo)體企業(yè),，帶動(dòng)整個(gè)上下游產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。

由江蘇省納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心主辦的“第九屆中國(guó)國(guó)際納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)®”,，將于10月24-26日在蘇州國(guó)際博覽中心隆重召開,，博覽會(huì)面積15000㎡，展會(huì)內(nèi)容涵蓋納米新材料,、微納制造,、5G光通信、納米醫(yī)療,、能源與清潔技術(shù)等幾大板塊,，同期會(huì)議精彩紛呈，預(yù)計(jì)參會(huì)參展企業(yè)1500余家,，到場(chǎng)觀眾16000+,。