南極熊3D打印網報道
位于瑞士蘇黎世的IBM研究院在今天公布了一款微觀(microscopic)3D打印機,,可以在柔軟的聚合物上編寫納米級分辨率圖案,,隨后化合物可以轉化為硅,,III-V(砷化鎵),或是石墨烯基板,。不像電子束(e-beam)光刻技術,,工程師在顯微鏡的觀察下,這些圖案可以寫,、可以閱讀以進行實時驗證,。
“與e-beam的一個很大的不同,就是你可以簡單的寫出3D圖案,,對于e-beam這是很困難的,。”IBM研究員的科學家Colin Rawlings對電子工程專輯(EE Times)說,,“其他一些比較大的差異,,就是這種技術的成像能力——我們不僅可以寫,還能進行閱讀,。在制作出3D圖案之后,,我們可以停止尖端的加熱,然后將它當做原子力顯微鏡(AFM)來使用,,以亞納米的分辨率進行測量——讓我們可以核實我們的3D圖案,,并輕易的對聚合物層下的結構進行定位。
這種微觀3D打印機正在授權給蘇黎世公司SwissLitho AG,,并命名為NanoFrazor——結合了英文單詞“razor”和德文單詞“frase”(意為milling machine,,銑床)。NanoFrazor可以像納米級分辨率的銑床一樣運作,,在很多方面都比e-beam優(yōu)勝,,但只需要其價格的一部分——大約50萬美元,e-beam則需要至少花費150萬,,甚至是3000萬美元,。
“NanoFrazor很適合所有應用類型的快速原型制作,”Rawlings告訴電子工程專輯(EE Times),,“它開環(huán)運行以達到每秒以毫米計算的掃描速度,,并使用一個長10納米的專門的加熱尖端,,安裝在一個長700納米的可彎曲懸臂上�,!�
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2014-4-26 00:05 上傳
線寬精確度是10納米,,但3D的深度精確度只是1納米,而閱讀圖案的測量深度則是亞納米級精確度,。IBM希望在2014年年末之前,,可以在III-V(III-V族化合物)和石墨烯材料上,打通場效應晶體管(FET),,利用石印傳輸技術,。
“我們沉積了一個聚合物層,然后是硅層或III-V層,,然后是另一個我們書寫的聚合物層,。”Rawlings說,,“然后在書寫完畢后,,我們會切換到一個均勻稀釋整個聚合物系統,導致生成樣式的孔,。然后我們會使用標準技術蝕刻聚合物,,最終蝕刻以下的襯底,創(chuàng)造出我們可以通過在圖案的孔沉積材料的掩飾中,。
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據南極熊3D打印網了解,,IBM還在嘗試在其量子計算應用——它生成圖案以控制、操控光收發(fā)器的地方,,不能用傳統的石印術實現——中使用其3D打印技術,。它稱系統的一個獨特的屬性是3D圖案可以形成來指引光滑角落的光,從而減少光引導中的光散射問題,。
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